第90章 这就是自动化规范化的魔力【求全订！】

DUV光刻机技术难点还是不少的。

像是镜头制造方面，它要求的是极高的光学精度，镜头设计和制造过程中是绝不允许有任何微小的误差的。

此外就是光源和光路系统也是一个大难点。

DUV光刻机...